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      劃片機

      簡要描述:v應用方向:半導體晶圓、集成電路、QFN、發光二極管、LED芯片、太陽能電池、電子基片等的劃切

      基礎信息

      產品型號

      廠商性質

      代理商

      更新時間

      2024-10-22

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      詳細介紹

      v 應用方向:半導體晶圓、集成電路、QFN、發光二極管、LED芯片、太陽能電池、電子基片等的劃切,適用于包括硅、石英、陶瓷、氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍寶石和玻璃等

      v 加工尺寸:≤φ305mm/260*260mm

      v 運動方式:雙軸對向式

      v X軸速度:600mm/s 直線度:1.5μm全行程

      v Y軸有效行程:310mm 定位精度2μm 分辨率0.1μm

      v Z軸有效行程:40mm 單步步進量0.0001mm 刀輪直徑60mm

      v T軸:轉動角度范圍380

      v 主軸轉速60000rpm/min


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