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      產(chǎn)品中心
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      Nikon S208D掃描式光刻機(jī)
      
            
      
            	
      簡(jiǎn)要描述：NikonS208D1
      
            
      
            
      
              基礎(chǔ)信息
            	
      
                	
      產(chǎn)品型號(hào)
      
                    
      廠商性質(zhì)
      代理商
      
                    
      更新時(shí)間
      2024-10-22
      
                    
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      詳細(xì)介紹
      
      
      

                
      
                	
                    
      
                        
                            
                        
                    
      
                
      
      
      
           
      Nikon S208D
      1.Nikon S208D掃描式光刻機(jī)
      光源波長(zhǎng)248nm
      分辨率優(yōu)于0.11µm
      主要用于8寸及12寸生產(chǎn)線
      廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域
      2.產(chǎn)品詳情
      主要技術(shù)指標(biāo)
      分辨率0.11µm
      N.A.0.82
      曝光光源248nm
      倍率4:1
      曝光現(xiàn)場(chǎng)26mm*33mm
      對(duì)準(zhǔn)精度15nm
      3.更多服務(wù)
      提供中英文軟件及8"、12"設(shè)備硅片改造
      常年提供所有備件、耗材


        
      
      
      
      
      
      
       
      
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